静电卡盘以及其国内制造厂商介绍
半导体设备的升级迭代，很大程度上有赖于精密零部件的关键技术突破。其中，静电卡盘就是一个典型的细分零部件市场，其在半导体制造工艺的多个环节扮演着重要作用。
在先进的大规模集成电路制造过程中有着几百种工艺步骤，圆片需要在多达几百种的工艺设备之间来回传输并进行加工检测。在加工过程中，圆片必须被十分平稳、固定地安放在工艺设备上。
目前全球静电卡盘市场主要由日本和美国企业主导。静电卡盘作为半导体制造工艺设备中价值量占比相对较高的核心零部件，目前国产替代空间大。
静电卡盘是什么
静电卡盘ESC（Electrostatic Chuck），又称静电吸盘，是一种利用静电吸附替代传统机械夹持、真空吸附方式的优势技术，被称为“半导体工艺固定晶圆的‘无形之手’”，在加工过程中起到重要作用。目前主要应用于离子刻蚀ETCH、离子注入IMP、物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD。
静电卡盘分类
静电卡盘ESC（Electrostatic Chuck）可分为库仑型和J-R型两种。两者的区别是对静电卡盘施加高压直流电时，库仑型静电卡盘的陶瓷介电层上表面会与被吸附产品间产生极性相反的极化电荷，从而形成静电吸引力来实现吸附固定。而J-R型静电卡盘则是在陶瓷介电层中带电离子迁移并聚集在上表面，在静电卡盘与被吸附产品间形成很强的电场，从而实现吸附固定。
静电卡盘国内厂商情况——广东精瓷新材料有限公司
广东精瓷新材料有限公司具有多年HTCC研发及生产经验，专注于半导体用陶瓷静电卡盘ESC、精密陶瓷真空吸盘及氮化铝陶瓷发热体的研发制造。其设立有ESC专用测试设备、SEM、三坐标、轮廓仪等多种测试设备的测试中心，具有氧化铝、氮化铝材质的库仑型、J-R型静电卡盘ESC的研发和生产能力。同时，广东精瓷在陶瓷真空吸盘上也有效解决了行业内掉粉、掉颗粒和吸附力不均匀等痛点，可为半导体设备、半导体芯片制造提供关键部件的安全供应。
广东精瓷新材料有限公司的主要产品
广东精瓷新材料有限公司具备年产2000套8寸、12寸氧化铝&氮化铝静电卡盘，20000套300mm以上尺寸碳化硅&氧化铝真空吸盘的生产能力。其主要产品如下：
1.静电卡盘ESC
（1） 库仑型静电卡盘
▲ 12寸氧化铝静电卡盘
▲ 12寸复合型静电卡盘
（2）J-R型静电卡盘
2、陶瓷真空吸盘
3、氮化铝陶瓷发热体
如需了解更多或联系我们（邮箱：asstfcm@kymch.com），广东精瓷尽快与您联系。
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