尼康中标华虹宏力中紫外步进式光刻机项目

2022-07-21 作者: 晴天

7月18日,中国招标投标公共服务平台官网公示,上海华虹宏力半导体制造有限公司(以下简称“华虹宏力”)中紫外步进式光刻机项目中标结果。标的物为中紫外步进式光刻机,中标人为日本制造商Nikon Corporation。

 

招标平台信息显示,3月31日,上海华虹宏力半导体制造有限公司(以下简称“华虹宏力”)发布多项招标信息。华虹宏力现对外进行公开招标,欲采购中紫外步进式光刻机、涂胶显影机、深沟槽量测设备。

 

据官网介绍,华虹宏力是华虹半导体全资子公司,由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司新设合并而成。目前,华虹宏力在上海金桥和张江共有三座8英寸晶圆厂(华虹一厂、二厂及三厂),月产能约18万片。华虹集团是以集成电路制造为主业,拥有8+12英寸生产线先进工艺技术的企业集团,集团旗下上海华虹宏力半导体制造有限公司,是华虹半导体有限公司之全资子公司,由原上海华虹NEC电子有限公司和上海宏力半导体制造有限公司新设合并而成。

 

华虹宏力工艺技术覆盖1微米至90纳米各节点,工艺类型包括嵌入式非易失性存储器(eNVM)、功率器件、模拟及电源管理和逻辑及射频等差异化工艺平台。

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